els温控器使用说明书,室内温控面板使用说明书

编者按：据介绍，北京科益虹源光电技术有限公司作为中国唯一、全球第三家具备全序列光刻准分子激光器研发及制造能力的公司。

2021年09月25日，2020年度北京市科学技术奖励名单发布。其中提到：

授予“12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀机研发及产业化”等35项成果北京市科学技术进步奖一等奖

2020年度北京市科学技术奖公布获奖名单

2020年11月3日北京市经济技术开发区科技创新局发布了《北京经济技术开发区关于2020年度北京市科学技术奖提名公示》。

根据我的理解，北京市科学技术奖评选前，需要各个区级单位提交申报名单。而这份名单是北京市经济技术开发区提交的名单，其中含有项目详细介绍。

北京市科学技术奖提名公示

在此次公布的名单中，我们可以看到第14项的题目是：

4kHz 40W 氟化氪光刻准分子曝光光源研发及产业化项目

而申报单位正是：北京科益虹源光电技术有限公司。

2020年11月3日北京市科学技术奖提名公示

准分子激光是通过一类特殊的含有惰性气体和其他元素形成的激发态分子作为激励源的激光器。用于光刻机的大家比较熟悉一点的是248nm的氟化氪KrF和193nm的氟化氩ArF。

氟化氪KrF和氟化氩ArF是两代准分子激光器。早期的248nm的KrF激光，属于第三代，是只能做100nm以上光刻工艺的。之后发展了第四代193nm的ArF激光在干法下可以做到65nm。大约20年前，采用林本坚发明的液浸法，采用193nm的ArF激光才可以做到28nm（28nm以下的多次曝光则需要升级更高性能ArF）。