半导体激光隐形晶圆切割机,高端晶圆激光切割设备世界排名

首页 > 经验 > 作者:YD1662024-03-24 15:59:37

来源:环球网

【环球网报道】微信公号“ CGT中国长城”17日发布消息称,在中国长城科技集团股份有限公司旗下郑州轨道交通信息技术研究院和河南通用智能装备有限公司科研人员奋勇攻关、共同努力下,我国首台半导体激光隐形晶圆切割机于近日研制成功,填补国内空白,在关键性能参数上处于国际领先水平。

半导体激光隐形晶圆切割机,高端晶圆激光切割设备世界排名(1)

据介绍,该装备是郑州轨交院与河南通用历时一年联合攻关研发成功,最终实现了最佳光波和切割工艺,开启了我国激光晶圆切割行业发展的序幕。

郑州轨交院成立于2017年,几年来,该院围绕自主安全工业控制器、高端装备制造和新一代信息技术突破开展科研创新、技术攻关。尤其是被中国长城旗下公司收购后,郑州轨交院科研创新、事业发展进入新一轮加速发展期。

晶圆切割是半导体封测工艺中不可或缺的关键工序。中国长城副总裁、郑州轨交院院长刘振宇介绍,与传统的切割方式相比,激光切割属于非接触式加工,可以避免对晶体硅表面造成损伤,并且具有加工精度高、加工效率高等特点,可以大幅提升芯片生产制造的质量、效率、效益。

半导体激光隐形晶圆切割机,高端晶圆激光切割设备世界排名(2)

图源: CGT中国长城

专家提到,我国首台半导体激光隐形晶圆切割机研制成功,打破了国外对激光隐形切割技术的垄断,对进一步提高我国智能装备制造能力具有里程碑式的意义。

中国长城董事长宋黎定说:“自主安全、核心技术始终是中国长城科研创新的聚焦主题,也是不变的工作主题。在国家发展的关键时期,中国长城的科研人员更要时刻牢记‘将核心技术掌握在自己手里’,牢记‘实践反复告诉我们,关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的。只有把关键核心技术掌握在自己手中,才能从根本上保障国家经济安全、国防安全和其他安全’,义无反顾、义不容辞地扛起央企主责,甘坐冷板凳,誓当主力军,勇攀核心技术突破高峰,加速解决‘卡脖子’的问题,争做新时代的圆梦人。”

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