是通过将待测物置于激光束/电子束等辐射源下，以扫描的方式对其进行照射和探测，得到其反射或散射光信号/电子信号，然后通过信号处理和数据分析，形成对待测物表面的形貌、结构、成分等信息。
扫描法是一种非常重要的表征方法，在材料科学、生物医学、纳米技术等领域都有广泛的应用。
根据辐射源和信号的不同，可以分为激光扫描显微镜(LSM)、扫描电子显微镜(SEM)、Atomic force microscopy(AFM)等多种类型，每种类型有其自身的特点和适用范围。
同时，扫描法的发展也受到技术限制和成本制约，在应用中需要结合具体问题和目的进行选择和优化。
以下是扫描法原理：
扫描仪工作时发出的强光照射在稿件上，没有被吸收的光线将被反射到光学感应器上。光感应器接收到这些信号后，将这些信号传送到模数（A/D）转换器，模数转换器再将其转换成计算机能读取的信号，然后通过驱动程序转换成显示器上能看到的正确图像。
扫描仪可分为三大类型：滚筒式扫描仪和平面扫描仪，近几年才有的笔式扫描仪、便携式扫描仪、馈纸式扫描仪、胶片扫描仪、底片扫描仪和名片扫描仪。
