1958年底到1959年初数月间，佛山专区也曾改称广州专区。1959年，江门市及新会、台山、开平（恩平省入）、高鹤（高明、鹤山合并）等4县划归江门专区，同年韶关专区从化县（佛冈县省入）划归佛山专区，惠阳专区撤销后惠阳（惠州市、惠东县省入）、增城（龙门县省入）、博罗、宝安、东莞等5县划归佛山专区。
同年，番禺、顺德合并为番顺县，珠海县、石岐市省入中山县，三水并入南海县，此时佛山专区辖佛山市及中山、南海、番顺、花县、从化、惠阳、增城、博罗、宝安、东莞等1市10县，尽管所辖县市减少，但由于并县，佛山专区辖区扩大，这也是建国后佛山所辖面积最大时期，大致为今中山市、珠海市、东莞市、深圳市、惠州市全部，佛山市、广州市大部及清市佛冈等地区。
1960年，番禺、顺德分设，三水县从南海恢复，花县、从化（仍辖佛冈之地）划归广州市，1961年增城、龙门分设，珠海县从中山县恢复。1963年惠阳专区复设，原属惠阳专区的惠阳、博罗、增城、龙门、宝安、东莞等县划出，同年肇庆专区江门市及高鹤、新会、台山、开平、恩平复归佛山专区，此时佛山专区辖2市11县，基本恢复1958年状态。
1965年珠海县析设斗门县，1966年佛山市、江门市升为地级市，但受广东省、佛山专区双重领导。1970年，佛山专区改称佛山地区，佛山市、江门市又降为县级市，佛山地区辖2市12县。1975年，佛山市、江门市升为省辖市，同年番禺县划归广州市，1979年珠海县升为地级珠海市，1981年高明、鹤山分设，到1982年底佛山地区共辖11县。
1983年我国开始施行“市管县”体制，佛山地区撤销，辖县分别划归佛山市、江门市、珠海市三市，其中划归佛山市的有中山、南海、顺德、高明、三水，其中中山县改为县级中山市，佛山市辖4县，代管中山市。1988年，中山市升为地级市划出，佛山市域自此形成，而其所辖各县相继改为县级市又撤销设区。现在，佛山已经完成县改区，共辖禅城区、南海区、顺德区、三水区和高明区五个区。
