在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件称为真空阀门。
一、真空阀门在真空系统中的作用
1、开关气路
如图1所示，当阀1和阀4关闭，阀2打开时，机械真空泵Ⅲ对容器I抽真空，气流流经预真空抽气管路；当阀2关闭，阀4打开时，机械泵可单独对扩散泵抽真空；当阀1和阀4同时打开时，扩散泵和机械泵可同时工作，对容器进行抽空，此时气流流经扩散泵。可见，阀门在这种操作中的作用是开关气路，改变气流的流经路线；
2、控制气流大小
调节真空度在图1中，调节阀1的阀盖开启角度，即可调节流经管路的气流量大小；关闭阀2和阀4，通过放气阀3可以给机械泵Ⅲ的入口放成大气；通过放气阀5可以调节容器内的真空度；
3、定量充气
如图2所示，在玻璃阀的柱塞上有个一定体积的小洞，当小洞转向右边和高压气瓶连通时，小洞中就可充满高压气体；当它转向左边和真空容器连通时，就把该体积的高压气体放进容器中去，这样就起到了定量充气的作用。
二、真空阀门的驱动形式主要包括以下几种形式
1、手动式
手动式真空阀门适用于小型的且自动化程度要求不高的真空应用领域，也常出现于一些试验用的设备上；
2、磁动式
磁动式真空阀门是通过直流或交流电源磁化铁芯，实现衔铁动作来带动阀板运动。它由于衔铁新行程有限，口径较小，但动作较快，所以较多用于低真空管道的截止阀、放气阀等。磁动式真空阀门与气动式真空阀门也都是适用于保护性场合的阀门；
3、气动式
气动式真空阀门通过压缩空气来驱动，结构简单，开关迅速，较常用于大型真空设备中的远距离控制，以及复杂、多阀门的真空系统的应用。但因为需要独立气源，所以它不适合用于小型的真空系统中；
4、电动式与液压式
电动式真空阀门是指用电机驱动真空阀门，而液压式则是通过油等液体压力驱动真空阀门。这两类真空阀门都是需要大动力的真空阀门，也是大型工业生产且自动化程度较高的真空系统中常用的真空阀门。
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