
斜劈干涉的条纹间距是指相邻的两条亮条纹、或暗条纹间的距离,实际测量是两条亮纹中线间的距离。
检测平整度用的是空气劈尖干涉原理,当光垂直入射时,在工件的上表面和玻璃板的下表面反射的光相干涉,当光波的光程差为波长的整数倍时,形成明条纹,为半波长的奇数倍时,形成暗条纹.而光程差取决于空气层的厚度,具有稳定的光程差,所以条纹间距相等.衍射条件sinθ=kλ,由于θ不一样,所以射条纹间距不等。

斜劈干涉的条纹间距是指相邻的两条亮条纹、或暗条纹间的距离,实际测量是两条亮纹中线间的距离。
检测平整度用的是空气劈尖干涉原理,当光垂直入射时,在工件的上表面和玻璃板的下表面反射的光相干涉,当光波的光程差为波长的整数倍时,形成明条纹,为半波长的奇数倍时,形成暗条纹.而光程差取决于空气层的厚度,具有稳定的光程差,所以条纹间距相等.衍射条件sinθ=kλ,由于θ不一样,所以射条纹间距不等。
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