HIT电池制造工序:清洗制绒>;非晶硅薄膜沉积>;TCO沉积>;制作电极>;测试分档。
清洗制绒:去除硅片表面杂质,制作金字塔绒面,减少阳光反射。HIT电池要求制作大绒面,制绒难度高于PERC。
非晶硅沉积:主要使用PECVD设备进行非晶硅薄膜沉积,薄膜厚度为纳米级,且内部结构较为复杂,半导体级工艺,技术摸索集中在这个环节。
TCO沉积:使用PVD或者RPD设备沉积金属氧化物导电层TCO,该工艺在平板显示领域应用较多,已经十分成熟,PVD和RPD目前还存在路线之争。
制作电极:丝网印刷或者镀铜,制作电极导出电流,MBB多主栅技术导入后,银浆消耗量大幅度下降,镀铜必要性大幅降低,主流企业基本都走刷银路线。

1.3异质结电池优势
效率高:目前主流企业量产效率都站上24%,行业新进者基本也在23.5%以上,明年底有望冲击25%。效率高带来组件环节BOM成本和电站环节BOS成本的节省。当前单晶PERC和常规多晶效率差3%,价格差0.35元/瓦。


衰减低:HIT年均衰减0.25%,不到PERC一半,25年内多发电5%左右。
? N型硅片掺磷,没有P型硅片的硼氧对、铁硼对等复合中心,光致衰减LID很小;
?N型硅片少子为空穴,空穴比电子更难被俘获而复合,对金属杂质不敏感;
?HIT表面TCO膜为导电体,电荷不会在电池表面聚集,无电位诱导衰减PID;
