相应的d列为晶格间距，但是它的单位为星（读音“ai”）1nm=10星，因此例0.26nm晶格间距可以对应标卡（002）晶面。
最后可以将.dm3格式导出，File - save as - jpg格式并在ppt或其他绘图工具中标出晶格和晶面。
2、对SAED分析
对SAED图进行分析可将材料分为典型的单晶、多晶和非晶形态：
首先需完成上述标卡的标定过程，（先不管SAED图标尺单位为nm⁻¹中的负一次方，后续再做取倒数处理）。
标定完成后，选择图中较亮的两个对称点（若有圆心需过圆心），量出它们之间的距离（鼠标长按可以移动拖动网格内的线，可以获得两峰值间相应长度距离），如量取7.693，则中心点与任一点距离为3.8465,取倒数1/3.8465=0.260nm,即为该衍射点对应的衍射晶面的晶面间距。再次重复以上使用XRD标准卡片相应晶面。
对多晶材料用相同的步骤获得了与其他衍射环相应的晶面并获得了完整的SAED分析图；单晶材料在加工过程中也是如此，但是由于其平移对称性决定了在测量过程中可以随意选取被测中心点，但是一旦被选取出来之后，全部晶面就会相对这个中心点运行。（应该指出，单晶材料中与衍射点相对应的衍射晶面，需要符合矢量叠加原则）。
