图5 GFIS气体场离子源束流拔出示意图。a. 拔出电极电路[4]；b. He 离子在钨针尖端排列的3个裸露的钨原子处产生；c.实际使用时，将针尖轻微偏转，只用3个原子中最亮的那个原子所产生的离子束进行成像。由于离子束是同一个原子发出的，其束斑非常小（只一个钨原子大），相干性也好，有利于获得高质量大景深的照片。
电感耦合等离子源
作为加工设备的离子源需要高亮度大束流（如250 nA）、能量分布集中、长寿命、高稳定的离子源。目前以Xe、Ar、N2、O2为气源的Plasma-FIB（PFIB）成像加工系统的离子源产生方案是：先用电感耦合等离子体源（ICP-source）获得等离子体，以拔出电极施加4-8.5 kV的偏压拔出不同束流的离子束，再以10-30 kV电压进行加速。PFIB设备是最近两年才导入科研用户，我国科研界大概只有4台（截止2020年3月），还没有特别详细的书或文章介绍它的光路系统。
2.3 中子束光源
中子束光源的特点
中子也是一种物质波，和电子类似，中子波长随能量变化。快中子的波长为0.00028 Å，热中子波长为1.8 Å，超冷中子波长为495 Å，和极紫外光（EUV）波长相同。
与电子相同，中子在自然界中也广泛存在，但是自由的中子寿命很短只有15分钟左右，大量的中子是由强相互作用束缚在原子核中的。因此中子要靠核反应产生。
中子束光源发展历史
第一代
同位素放射源和低能加速器源
利用以下反应产生中子
将放射α 射线的238Pu、226Ra 或241Am同金属铍粉末按一定比例均匀混合压制成小圆柱体密封在金属壳中，就可产生中子。1932年查德威克就是利用这个反应获得了中子，并获得了诺贝尔奖。
第二代
反应堆中子源
利用反应堆中的裂变反应产生中子，比如铀235在反应堆中可能通过以下的反应产生中子：
仅有少数国家拥有研究型反应堆，都处于国际原子能机构监督之下[6]。
第三代
散裂中子源
散裂中子源的原理是：用1 GeV左右的中能质子轰击重元素靶（如铅、钨或者铀、钍重靶），当高能质子打到重原子核上时，原子核温度升高，核内的中子就会获得能量“沸腾”起来并脱离原子核的束缚。就像将一个垒球用力投到装满球的筐中，有一些球会立刻蹦出来，而更多的球则会相互碰撞、弹跳并翻出筐外。散裂中子源具有高的有效中子通量、无放射性核废料等特征。
图6 散列中子源产生过程的示意图[7]
由于中子不带电荷，无法用电场进行加速，因此现在大多是采用获得高能中子再进行慢化的方法获得不同能量的中子，从而改变中子束波长。
图7是美国Aerotest反应堆中子成像设施[8]。2018年，中科院高能所和中科院物理所合作设计建造了中国散裂中子源（CSNS）已在广东东莞投入实际运营，总体达到了国际先进水平。见图8。
