光学常数拟合的准确性对于薄膜设计及制造至关重要,如果不能准确的拟合光学常数,就不能很好地设计和沉积薄膜。本节主要结合软件对常见光学常数的拟合方法进行简单介绍。
如果知道薄膜的折射率n,消光系数k和物理厚度d,可以很容易得到膜层的反射率R和透过率T。反之,如果想要通过反射率R和透过率T,反推折射率n,消光系数k和物理厚度d,则没那么简单。前人大能提出了多种方法。按照原始数据的不同,归纳起来可以分为光度法和椭圆偏振法 。光度法是指测量光透过或反射膜层后的变化来求得n,k,d。椭圆偏振法是以偏振光经过薄膜反射后测量光的振幅和相位变化来求得n,k,d。考虑到光谱仪的普遍性,重点讲述光度法。
对于光谱仪测量得到的透过率和反射率数据,光学常数的求解主要分为两类。分别是包络法和公式法。
1.包络法
利用透射光谱曲线的极值点数值Tλ/2和Tλ/4来计算弱吸收薄膜的光学常数。典型的应用软件是Macleod。使用包络法需要注意:
a)适用于计算折射率均匀膜,对于折射率非均匀薄膜计算能力有限。
b)虽然简单方便,局限性比较大,只适用于弱吸收薄膜,不适用金属等材料。