而且85%以上的材料,都来自全球超过5000家供应商。
比如它里面就用到了德国的蔡司镜头,日本的特殊复合材料,瑞典的精密机床,美国的先进控制软件、光源等,都是业内顶尖的技术水平。
是不是看起来,阿斯麦公司更像一个系统集成商?
但是,如果想要组装一台光刻机,也不是随便哪个厂商就能做到的。
比如光刻机里的镜头,在组装过程中,为了达到仪器能够检测、分辨的最小值。
需要将多达数十个光学镜面按照设计要求严格排列,每一个透镜的位置、姿态、间距都有严格的要求。
此外,为了保障晶圆图案的质量,光刻机中每一块透镜的位置误差都必须小于1nm,同时还要能尽量消除光损失而产生的热量。
玩过单反的朋友,估计都知道镜头设计是多么复杂,更何况光刻机使用的是超大、超多组镜片。
在工艺上,光刻机所要求的镜面光洁度非常高,需要采用精度最高的打磨机和最细的镜头磨料,还需要顶级的计算机数控光学表面成形技术相关的技师。
而能达到要求的技师少之又少,连拥有175年历史的蔡司,达到光刻机镜头生产标准的技师也仅有20人。
目前,由蔡司生产的最新一代EUV光刻机反射镜,能够做到最大直径1.2米,面形精度峰谷值0.12纳米,表面粗糙度20皮米。
这是什么概念呢?
如果把镜头放大到地球那么大,它上面只允许有一根头发丝那样的凸起,这可能是宇宙中最光滑的人造物体了。
有了镜头,当然还需要光源,光刻机里的光源技术是来自美国Cymer公司。