想要产生波长为13.5nm的极紫外光，其实是一个比较复杂的过程。
简单来说，就是用20kw的激光，不断轰击从空中滴落的液态锡珠。
这些液滴的直径非常小，只有20微米，大概相当于头发丝直径的1/3，并且液滴在真空环境中是处于自由下落的状态。
而且同一个液滴需要在极端时间内被连续轰击两次，第一次冲击是将它压平，第二次冲击是将它汽化，使之成为发光的等离子体，这样才能产生足够强度的极紫外光。
更重要的是，轰击所产生的光转瞬即逝，因此需要每秒钟轰击约五万次，才能保证光的持续性。
为了让激光束能以极大的功率稳定传输，系统的复杂性可想而知。
事实上，EUV的激光系统就有大约45万个零件，重约17吨，线缆长度超过 7000 米。
其中高达20kW的二氧化碳激光器，所需电源功率达到了200kW，但即使这样，它的最终效率也才只有5.5%。
别看转换效率不高，这已经是科学家们经过数次技术迭代，能够实现的最高水平了。要知道最初的发光效率仅有0.8%。
