最终仅剩的齐国因为没有和秦国接壤，一直没有被秦国进攻，直到秦国攻灭韩、赵、燕、魏、楚五国后，齐国成为秦国的最后对手。然而齐国长期处于和平，因此一直没有加强战备，加上齐相早已被秦国收买，一直规劝齐王建不要参与各国合纵。在公元前221年，秦国进攻齐国时，齐相还劝齐王建不要反抗，最终齐王建投降秦国，齐国灭亡。
至此，秦王嬴政完成了统一大业，结束了春秋战国五百多年以来诸侯割据称雄的局面，进入帝国时代。
秦灭六国后，六国君主的下场- 韩国君主韩王安最终被处死
《史记·秦始皇本纪》记载：“二十一年，新郑反。昌平君徙于郢。”
秦国攻灭韩国后，被俘的韩王安被软禁于陈县，之后因韩国旧贵族在故都新郑发动反秦叛乱，秦国为了根除祸患，于公元前226年将韩王安处死，昌平君也因为这次叛乱被贬到楚国旧都陈郢，之后反叛秦国可能也是因为失去了秦王的信任。
韩国灭亡后，秦国最初没有选择处死韩王安，反而让到居住到陈县，原因是当时秦国才攻灭六国的一国，优待各国王室本身就是减少各国反抗的一种方式，如果直接处死韩王安，可能会激起其余五国强烈抵抗，给秦国造成更大的伤亡，而优待韩王安可以给各国做个榜样。
后来又将韩王安处死是因为韩国旧地发生反叛，加上燕国太子丹派遣荆轲刺*秦王刚发生不久，此举让本就性格多疑的嬴政放弃了优待各国王室的政策。比如赵王迁和代王嘉被俘后先是被迁到咸阳居住，后来赵王迁被发配到房陵深山，代王嘉也被流放到偏远的甘肃天水，为此有了“涿郡赵氏”和“天水赵氏”；齐国灭亡后，齐王建最终也被活活饿死。
而且处死韩王建时，秦国已经彻底攻灭了韩国，赵国和燕国也是名存实亡，山东六国只剩下魏国、楚国和齐国，基本上已经无法影响到秦国的统一进程。秦国选择处死韩王安可能也是经过深思熟虑后的决定，既无法影响到战略大局，也能断了韩国贵族和故地百姓的念头，避免再次出现叛乱情况。
- 赵国君主赵王迁被流放房陵深山
《淮南子》记载：“赵王迁流于房陵，思故乡，作为《山水》之讴，闻者莫不殒涕。”
秦军攻破赵都邯郸后，俘虏了赵王迁，最后被秦王嬴政流放到房龄深山之中。赵王迁在深山之中因思念故乡，还创作一首诗歌《山水》，听闻之人无不落泪流涕。
《史记》记载：“大兴兵，使王贲将，攻燕辽东，得燕王喜。还攻代，虏代王嘉。”
赵王迁的兄长公子嘉在代地称王六年后被俘，全族先是被迁到咸阳居住，之后被流放到西北边陲天水。当时秦国已经攻灭楚国，俘虏了楚王负刍，后拥立的楚王昌平君芈启也兵败身亡，只剩下最后一个齐国，嬴政便派王贲率兵剿灭燕国在辽东的残余势力，擒获了燕王喜，返程途中又歼灭了赵国北部代地的残余势力，俘虏了代王嘉和其全族，燕国和赵国彻底灭亡（公元前222年）。
- 齐国君主齐王建被活活饿死
《史记》记载：“王建遂降，迁於共。松耶柏耶？”
秦国进攻齐国时，曾派使者劝说齐王建投降，只要不反抗，秦王会赐数百里封地，加上齐相的劝说，齐王建带着军队投降了秦国。之后秦王也确实对他做出了安置，不过只是拿出一块偏远且长满松树、柏树的共地给齐王建居住，这种地方本就很难长出粮食，秦王还下令不给提供食物，最终齐王建被活活饿死于松柏之间。
