注射无机硅的毒性较为明显，毒性终点常见的有血凝块堵塞血管而造成急性死亡，以及肝脏、肾脏、肺部损伤。相比之下，大分子有机硅的注射途径给药途径毒性小，但是静脉注射给药的毒性比其他肠胃外给药途径例如腹腔给药、皮下给药等较明显。由兔子非致死剂量推算的静脉注射给药剂量相当于2000μg·d-1的硅氧烷，即硅元素为757μg·d-1。
对无机硅化物的含量，根据具体给药途径进行安全性评估；其中，对于吸入剂，可在排除无机硅化物晶体态的可能性(在药品暴露场景下非常小)后，采用更合适的2400μg·d-1的PDE开展评估。医药包装和药物生产组件可引入无机硅如脱片或其他途径引入的玻璃碎屑、腐蚀后冷冻后形成的二氧化硅颗粒、硅油、硅胶管寡聚体。
虽然无机硅和有机硅结构迥异，但本文作出结论，发现各种途径的PDE值均在百微克的数量级，很好的为监管机构制定硅元素不同给药途径的监管限度给出科学性的参考。
