检查气密性最简单的方法,气密性检查方法和结果

超声波检漏仪使用示意图

在漏孔处，气体逸出或进入腔室，热胀冷缩，导致局部温度变化。通过高精度的热成像仪找到漏孔位置，常用于暖气或冷媒管道泄漏检测。

红外温枪检测泄漏

常用的卤素气体有氯仿、四氯化碳、三氯乙烯、氟氯烷等。卤素检漏仪连接到排气管路上，腔室抽真空喷卤素气体，当卤素气体通过漏孔进入腔室后，检漏仪可以检测到。

或者腔室内充入卤素气体，检漏仪连接吸枪放在可能泄漏的地方，如果卤素气体泄漏，可以检测到。

卤素气体检测仪

类似卤素气体正压检漏，腔室或管路内充入氦气，检漏仪连接吸枪放在可能泄漏的地方，检测是否有氦气泄漏。

氦检吸枪法示意

腔室或管路抽真空，氦检漏仪连接到排气管路上，往可能泄漏的地方喷氦气，当氦气通过漏孔进入腔室后，检漏仪内有质谱仪可以检测到。如果待检测的腔室容积小，可以直接用氦检仪抽真空，氦检仪内部有一个前级泵和一个分子泵。如果待检测的腔室容积大，需要旁通的大抽速真空泵先抽真空，最后再用氦检仪检漏，降低抽真空时间，提高效率。

如果需要检测的漏率准确，在喷氦气时，需要待测腔室和大抽速真空泵断开，否侧进入腔室的一部分氦气会被辅助真空泵抽走，导致测得的漏率偏小。