检查气密性最简单的方法,气密性检查方法和结果

真空法氦检

管路或腔室充入空气或其他气体，将可能泄漏的地方放入水中，有气泡冒出，就说明漏气。

气泡法操作示意

主要针对水管密封性测试，管道内充入水，关闭进出水口阀门，保压一定时间，测试压降。

压降：腔室或管道充入气体，测试一定时间内压力降低多少。

压升：腔室或管道抽真空，测试一定时间内压力上升多少。半导体设备做工艺前多采用这种方式粗略测试设备的气密性，一般保压5min。