紫外超分辨光刻机不是真的，紫外超分辨光刻设备是真的。
原文章是这样的。该光刻机在365纳米光源波长下，单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米。项目在原理上突破分辨力衍射极限，建立了一条高分辨、大面积的纳米光刻装备研发新路线，绕过国外相关知识产权壁垒。
简单来说，这是光刻机的一个主要部件不是全部，而且目前也没法实现商用。
是真的，现最先进的光刻机就是紫外超分辨光刻机
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