② 同心园干涉条纹。干涉条纹呈同心圆状,这表明被测的表面有微小的曲率。图7-4是用光学平晶在钠光灯下检测到的同心园干涉条纹。
③ 如7-5图中所示,
1、2、3、4、5是合格的干涉带6、7、8、9、是不合格的干涉带
判断被测表面不是中凹就是中凸,可用手指在平晶边缘轻轻的压,光干涉条纹向外周移为中凸,反之为中凹。前者称为光圈高,后者成为光圈底。
在实际测量时,只要是密封环上的干涉条纹非常有规律,没有突变都可以使用。
④ 端面不平 图7-6在钠光灯下用平晶检测密封面,平面度误差为 2.7um。密封面这种局部平面度误差是由于研磨抛光不良所引起的。在这种情况下,密封的泄漏较严重。
八、测量密封平面度的注意事项?
测量时,平晶和工件需要在相同的温度下才能得到相同的结果,
①使用钠光灯时,通电2~3分钟钠光灯才能正常工作。
②平晶是精密量具,它的硬度低,使用中容易磨伤和划伤,因此应在无尘的条件下使用。若附着赃物,可用酒精,汽油清洗,用鹿皮和镜头纸擦拭。使用时不可用平晶检查粗糙的表面,以免擦伤平晶。使用完毕后妥善保管。
③平晶检测平面度,有时看不见干涉条纹,可能有下列几种情况:
㈠ 测平面不光洁或平面度很差。
㈡ 被测平面不清洁或有毛刺。
㈢ 被测平面为非金属材料,表面折光不好,或有毛刺未能很好的贴合等。
九、摩擦副端面平面度检测方法?
平面度0.0009,普通量具无法检测,通常利用光波的干涉效应来检测。
光波的干涉效应,根据波动学原理,两波产生干涉的条件是:
①两波在相遇点振向一致;
②两波具有相同的频率;
③两波在相遇点有固定的周相差。(两个同样的钠光灯不行,只有用同一光源发出的光设法分成两束,才满足相干条件)满足相干条件的两束光的叠加效果是:在波程差为波长整数倍的地方,光强度加强;在波程差为半个波长的奇数倍的地方,光强度减至零(变暗)。这就是光的干涉原理。
平面度检测原理
设入射角i=0,e为气膜厚度(即是被检测面上点到平晶的距离),λ为光波波长,δ为光的波程差,那么
δ=2e+λ/2
当δ=kλ时,被检测面上点变暗;
δ=(2k+1)λ/2 ,被检测面上点变亮 ;(其中k=0,1,2,3,4,…,
k为整数)
由以上公式可以得出下面结论:
(ⅰ)相邻两条光带所对应两点的气膜厚度差(高度差)
为λ/2,(对于钠光灯λ=0.589µm,λ/2≈0.3µm)
(ⅱ)相邻两条光带宽b=λ/2Sinθ,(θ为空气膜倾斜角)
(ⅲ)当e=0时,δ=λ/2(半波损失),出现暗条纹;
合格光带举例