等离子气体可以是活性气体比如氧气、氢气,可以是惰性气体比如氩气、氮气,也可以使用混合气体比如空气、氢氮气、氢氩气等。不同的气体有不同的特点,可以对表面产生不同的物理和化学作用。
等离子体是由电子、离子、自由基、光子以及其他中性粒子组成。其中电子、离子和自由基是活性粒子，非常容易和其他固体物质的表面发生反应，等离子处理就是利用了这个特性来进行的。
等离子态的激发需要满足一定条件，比如一定的低压（真空）、一定的电场或温度等。
等离子体（又称电浆）是在固态、液态和气态以外的第四大物质状态，其特性与前三者截然不同。 气体在高温或强电磁场下，会变为等离子体。在这种状态下，气体中的原子会拥有比正常更多或更少的电子，从而形成阴离子或阳离子，即带负电荷或正电荷的粒子。气体中的任何共价键也会分离。 由于等离子体含有许多载流子，因此它能够导电，对电磁场也有很强的反应。
和气体一样，等离子体的形状和体积并非固定，而是会根据容器而改变；但和气体不一样的是，在磁场的作用下，它会形成各种结构，例如丝状物、圆柱状物和双层等。 等离子体是宇宙重子物质最常见的形态，其中大部分存在于稀薄的星系际空间（特别是星系团内介质）和恒星之中。
