硅谐振压力传感器工作原理,高温谐振式压力传感器

硅谐振梁处于永久磁铁提供的磁场中，与变送器放大器组成一正反馈回路让谐振梁在回路中震荡。当单晶硅片上的上下表面受到压力差时将产生形变，中心处受至压缩力，边缘处受到张力，因而两个形状谐振梁分别感应不同的应变作用，其结果是中心谐振梁受到压缩力而频减少，边侧谐振梁因受到张力而频率之差对应不同的压力信号。