株洲中车时代半导体有限公司 (以下简称中车时代半导体) 开发了具有自主知识产权的 PP IGBT 模块产品,并成功应用于国内柔性 HVDC 工程,图 3 是其PP IGBT 模块子单元和模块产品。该 IGBT 的芯片通过双面银烧结技术与钼片连接,然后组装成子单元,子单元与模块管盖电极通过柔性压力接触,实现并联。银烧结工艺技术提升了模块的长期可靠性,柔性压接提高了芯片压力的均匀性,有助于提升芯片电学性能和热学性能的一致性。目前,中车时代半导体的 PPIGBT 产品的电压等级已经达到了 6 500 V,是市场上的第一家达到该电压等级的产品[8]。
1.3 先进工业级 IGBT 模块
62 mm ×152 mm IGBT 半桥模块被认为是最成功的IGBT 模块产品之一,如英飞凌 EconoDUAL 系列产品和其他半导体厂家同类封装的产品。该类半桥模块具有功率密度高、可靠性高、应用简单、成本低等优势,在工业、新能源和商用农用车领域的应用非常广泛。
目前,这类封装的 1 200 V 和 1 700 V IGBT 模块的最大电流已经达到 900 A,相较于早期提供的 450 A 产品,功率密度最高提升了 1 倍,可满足新能源领域更高功率的需求。此外,在采用最新的 IGBT 芯片和 FRD 芯片提升电学性能的同时,模块的封装材料技术也在进行升级,如主端子与衬板连接以及衬板互连采用铜线、预涂敷相变导热硅脂材料 (Phase Change Thermal Inter‐face Material, PCTIM)、 IMB 和环 氧 树 脂 灌 封 材 料(Epoxy Molding Compound, EMC)、 采用 PressFIT 辅助端子等,以满足大电流输出和更高可靠性的要求。近 2 年,62 mm ×152 mm 封装 IGBT 模块产品的升级主要有以下 2 个方面:
①采用黑色外壳无基板封装结构,如图 4 所示。由于产品底部没有基板,实现了“结-壳”热阻 (RthJ-C)、重量和成本的降低。应用时通过外壳上的安装孔将衬板与散热器压装在一起,并且对主端子结构也进行了优化,主端子和辅助端子都通过超声焊接技术与衬板连接,从而提高了电流能力、热性能和机械可靠性,大幅降低了母排端子的寄生电阻和最高温度[25-27]。仿真结果显示,在 2.5 kHz 的开关频率和强迫风冷条件下,电流输出能力比标准模块提升了 9%,而在更高频率下其优势更加明显[27]。
②基板集成铝带结构 (Wave),可实现直接水冷散热[28],其产品如图 5 所示。通过热仿真和计算流体力学(Computational Fluid Dynamics,CFD) 仿真设计铝带的结构、尺寸、形状、布局,以实现最低的“结-冷却液”热阻 RthJ-F 和降低冷却液进出口之间的流阻。铝带键合在普通基板背面通过引线键合完成,工艺比较简单,相对于直接水冷针翅基板,可以大幅降低成本,并且重量降低很多,同时在应用中不需要涂覆导热硅脂,节省了成本,降低了 RthJ-F,从而提升了模块电流能力 , 增强 了 产 品 可 靠 性[28-29]。 1 200 V/900 A 规格IGBT 模块的 RthJ-F为 0.08 K/W 左右,与预涂导热硅脂材料、没有铝带的标准模块的“结-散热器”热阻 RthJ-H0.07 K/W 相差不大,而后者在应用中还要考虑散热器的热阻影响。试验结果显示,在输出电流 500 A 和冷却水流量 15 L/min 的条件下,集成铝带结构的 IGBT 最高结温降低 25 K,而且温度波动很小;在相同的结温下,输出电流最高增加 20%~30%,寿命增加了 5 倍,模块结温和寿命比较如图 6 所示[29]。