图18 美国CDC公布的SARS-CoV-2病毒SEM照片伪彩图[17]
02 背散射电子（BSE）成像技术
背散射电子（BSE）成像相较二次电子（主要是样品表面形貌特征的信号）能更多的表征样品内元素和晶粒取向的差异，图19是同一样品区域的SE二次电子成像与BSE背散射电子成像对比图[18]。
图19 同一样品区域的SE二次电子成像与BSE背散射电子成像对比图[18]
3.2 离子束光源下的微观世界
He离子质量小，可直接对未处理的生物样品进行成像，更加准确的还原样品形貌。并且，He、Ne离子显微镜(HIM)较SEM具有更大景深、更高对比度、更高图像质量，在商业化后迅速受到关注。30 kV加速电压下，He 离子的德布罗意波长约为0.08 pm。图20 对相同区域的铜晶粒观察，离子束成像信息更加丰富。
图20 左为离子束成像(FIB)，右为电子束成像（SEM）[19]
图21 为拍摄锡球表面的金颗粒。左图电子束成像景深小，底层颗粒全部模糊；而右图HIM照片，景深大，全部细节都正确对焦[20]。
图21 拍摄锡球表面的金颗粒。左图为SEM照片， 右图HIM照片[20]
图22为经临界点干燥的阿拉伯草的FE-SEM（加速电压小于1kV，分辨率最高）与HIM效果对比图，倍率从左到右从a到c逐级放大。明显对比出HIM大景深、高图像质量[21]。
图22 干燥的阿拉伯草的FE-SEM与HIM效果对比图，倍率从左到右从a到c逐级放大[21]
相较于成像方面的应用，镓聚焦离子束（FIB）因其离子序数高，与样品作用力强，对辐照到的样品有剥离作用，因此多用来进行微加工。如样品的三维重构分析、制备透射电镜样品，检查修复集成电路，复杂微纳结构加工等等。
