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首页 > 实用技巧 > 作者:YD1662023-11-11 02:48:16

“中国半导体产业的发展已经进入了黄金时代。”这是近几年我们最常听到的一句话。

中国半导体产业的发展自新中国成立以来,积累了数代人的心血,值此国庆之际,让我们回顾那60年的风风雨雨。

中国半导体产业的发展可以追溯到解放初期的1953年,半导体已经被列入第一次和第二次5年计划的重点科技公关项目,这阶段可以说是中国半导体行业发展的草创时期。此后由于国内和国际形势的剧烈变化,国家几乎停止了对半导体行业的投入。“原子弹之父”钱学森曾经这样感慨道:60年代,我们全力投入“两弹一星”,我们得到很多,70年代我们没有搞半导体,我们为此失去很多。

从无到有:草创时期

1956年,我国提出“向科学进军”,根据国外发展电子器件的进程,提出了中国也要研究半导体科学,把半导体技术列为国家四大紧急措施之一

从半导体材料开始,自力更生研究半导体器件。为了落实发展半导体规划,中国科学院应用物理所首先举办了半导体器件短期培训班。请回国的半导体专家黄昆、吴锡九、黄敞、林兰英、王守武、成众志等讲授半导体理论、晶体管制造技术和半导体线路。

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物理学家上海复旦大学教授——谢希德

在五所大学――北京大学、复旦大学、吉林大学、厦门大学和南京大学联合在北京大学开办了半导体物理专业,共同培养第一批半导体人才。培养出了第一批著名的教授:北京大学的黄昆、复旦大学的谢希德、吉林大学的高鼎三。1957年毕业的第一批研究生中有中国科学院院士王阳元(北京大学微电子所所长)、工程院院士许居衍(华晶集团中央研究院院长)和电子工业部总工程师俞忠钰(北方华虹设计公司董事长)。

与此同时,中国半导体材料从锗(Ge)开始。通过提炼煤灰制备了锗材料。

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1957年,北京电子管厂通过还原氧化锗,拉出了锗单晶。中国科学院应用物理研究所和二机部十局第十一所开发锗晶体管。前者由王守武任半导体实验室主任,后者由武尔桢负责。当年,中国相继研制出锗点接触二极管和三极管(即晶体管)。

1959年,天津拉制出硅(Si)单晶。

为了加强半导体的研究,1960年,中科院在北京建立半导体研究所,同年在河北建立工业性专业化研究所――第十三所,即现在的河北半导体研究所。

到六十年代初,中国半导体器件开始在工厂生产。此时,国内搞半导体器件的已有十几个厂点。当时北方以北京电子管厂为代表,生产了II-6低频合金管和II401高频合金扩散管;南方以上海元件五厂为代表。

1962年,天津拉制出砷化镓单晶(GaAs),为研究制备其他化合物半导体打下了基础。

硅器件开始搞的是合金管。1962年,我国研究制成硅外延工艺,并开始研究采用照相制版,光刻工艺。

1963年,河北省半导体研究所制成硅平面型晶体管。

1964年,河北省半导体研究所研制出硅外延平面型晶体管。在平面管之前不久,也搞过错和硅的台面扩散管,但一旦平面管研制出来后,绝大部分器件采用平面结构,因为它更适合于批量生产。

当时接制的单晶棒的直径很小,也不规则。一般将硅片切成方片的形状,如7*7、10*10、15*15平方毫米。后来单晶直径拉大些后,就开始采用不规则的圆片,但直径一般在35-40mm之间。

1965年12月,河北半导体研究所召开鉴定会,鉴定了第一批半导体管,并在国内首先鉴定了DTL型(二极管――晶体管逻辑)数字逻辑电路。1966年底,在工厂范围内上海元件五厂鉴定了TTL电路产品。这些小规模双极型数字集成电路主要以与非门为主,还有与非驱动器、与门、或非门、或门、以及与或非电路等。标志着中国已经制成了自己的小规模集成电路。

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晶体管收音机

在半导体器件批量生产之后,六十年代主要用来生产晶体管收音机,电子管收音机在体积上大为缩小,重量大为减轻。一般老百姓把晶体管收音机俗称为“半导体”。它在六十年代成为普通居民所要购买的“四大件”之一。(其他三大件为缝纫机、自行车和手表)另一方面,新品开发主要研究方向是硅高频大功率管,目的是要把部队所用的采用电子管的“八一”电台换装为采用晶体管的“小八一”电台,它曾是河北半导体所和北京电子管厂当年的主攻任务。

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