图7 锯齿波调频激光测距原理图
设参考光的频率为ft，测量光的频率为fr，调制宽带为∆F，调制周期为T，距离为D，测量光由于传输路径的不同相对于参考光会有一个时间延迟为τ，其中ft在f0和fm之间按锯齿波成周期性变化，那么ft和fr的表达式如下：
那么产生的拍频信号为fIF为：
所以被测距离：
调频连续波激光测距以激光为载体，所有环境干扰仅仅影响测量信号的光强，而不会影响频率信息，因此能获得较高的测距精度和较强的抗环境光干扰能力，精度可达到微米级，是目前大尺寸高精度测量应用中的研究热点。不过该测量方法对激光束频率的稳定度、线性度的要求很高，从而使得系统的实现较复杂，而且测量范围受周期T的限制，无法做到很大。
6. 三角法激光测距
三角法激光测距即光源、被测物面、光接收系统三点共同构成一个三角形光路，由激光器光源发出的光线，经过准直透镜聚焦后入射到被测物体表面上，光接收系统接收来自入射点处的散射光，并将其成像在光电探测器敏感面上，通过光点在成像面上的位移来测量被测物面移动距离的一种测量方法。
