实例说明:上图中，对于Zn元素而言，Zn 2p强度最大、峰宽最小，对称性最好，是Zn元素的主谱线。而除了主谱线Zn 2p之外，其实还有Zn 3s、Zn 3p和Zn 3d等其它谱线，这是因为Zn元素有多种内层电子，因而可以产生多种In XPS信号。
标定顺序
（1）利用污染碳的C1s或其他方法扣除荷电效应，常见方法是以测量值和参考值(284.8eV)之差作为荷电校正值(Δ)来矫正谱中其他元素的结合能，整个过程中XPS谱图强度不变；
（2）鉴别总是存在的元素谱线，如C、O的谱线；
（3）鉴别样品中主要元素的强谱线和有关的次强谱线；
（4）鉴别剩余的弱谱线假设它们是未知元素的最强谱线。
实例说明：Appl. Surf. Sci., 2017,400, 110-117. 采用XPS全谱分析来说明Pb成功掺杂到TiO2中。
自旋-轨道分裂(SOS)
由于电子的轨道运动和自旋运动发生耦合后使轨道能级发生分裂。对于l＞0的内壳层来说，用内量子数j（j=｜l± ms｜）表示自旋轨道分裂。即若l=0 则j=1/2；若l=1则j=1/2或3/2。除了s能级是单峰外，p、d、f都分裂为双峰。
实例说明：Langmuir, 29, 5573-5580：上图所示为ZnO的XPS谱图，图中Zn 2p裂分成2p3/2和2p1/2双峰。
重要意义：对于某一特定价态的元素而言，其p、 d、 f 等双峰谱线的双峰间距及峰高比一般为一定值。p峰的强度比为1:2；d线为2:3；f线为3:4。对于p峰，特别是4p线，其强度比可能小于1:2。
高分辨谱定性分析元素的价态主要看两个点
（1）可以对照标准谱图值（NIST数据库或者文献值）来确定谱线的化合态；
（2）对于p,d, f等具有双峰谱线的（自旋裂分），双峰间距也是判断元素化学状态的一个重要指标。
实用XPS定量分析方法可以概括为标样法、元素灵敏度因子法和一级原理模型。目前XPS定量分析多采用元素灵敏度因子法，该方法利用特定元素谱线强度作参考标准，测得其它元素相对谱线强度，求得各元素的相对含量。
定量分析方法步骤
（1）扣除背景(Shirley，Linear，Touggard)；
（2）测量峰面积(必要时进行峰拟合)；
（3）应用灵敏度因子；
（4）计算原子浓度。
