电注入方式
来源:文献[8]
(2)信号电荷的存储:CCD工作过程的第二步是信号电荷的收集,就是将入射光子激励出的电荷收集起来成为信号电荷包的过程。
当向SiO表面的电极加正偏压时,P型硅衬底中形成耗尽区(势阱),耗尽区的深度随正偏压升高而加大。其中的少数载流子(电子)被吸收到最高正偏压电极下的区域内,形成电荷包(势阱)。对于N型硅衬底的CCD器件,电极加正偏压时,少数载流子为空穴。
电荷存储
来源:文献[8]
(3)信号电荷的传输(耦合):CCD工作过程的第三步是信号电荷包的转移,就是将所收集起来的电荷包从一个像元转移到下一个像元,直到全部电荷包输出完成的过程。
电荷转移
来源:文献[7]
三相CCD中电荷的转移方式
(a)初始状态;(b) 电荷由①电极向②电极转移;(c) 电荷在①、②电极下均匀分布;(d) 电荷继续由①电极向②电极转移;(e) 电荷完全转移到②电极;(f) 三相交叠脉冲
来源:文献[8]
(4)信号电荷的检测:CCD工作过程的第四步是电荷的检测,就是将转移到输出级的电荷转化为电流或者电压的过程。
其中电荷输出类型,主要有三种:1)电流输出;2)浮置栅放大器输出;3)浮置扩散放大器输出。