ncf 是什么意思,ncf指的什么

首页 > 经验 > 作者:YD1662024-01-15 05:16:36

正装与倒装

2.1 倒装芯片凸点植球工艺

倒装芯片凸点包括金/镍凸点、焊凸点和铜柱柱。目前,C4凸点是最常用的,构成材料不限;对于更高密度和细间距的封装场景,则是使用具有C2凸点,由铜柱 不限焊料的盖组成。

两者形状见下方安靠的示例图,可以看到C4是球形的焊接点,而C2则是柱状球顶,后者更小更密。

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母/女/外婆翻译来很尴尬,不翻了

两者植球工艺对比铜材料的特性参数见下表:

结构

热导率

(W/m·K)

电阻率

(μΩ·m)

Bump pitch

自对准特性

Self-alignment

Cu

400

0.0172

-

-

C4 凸点

(Solder)

55-60

0.12-0.14

≥50μm

吊炸天

C2凸点

(Cu Pillar Solder Cap)

300

0.025

<50μm

很菜

接下来讲芯片与芯片/芯片与载板之间的凸点相连、以及相互之间完成贴合的工艺。

2.2 倒装芯片键合与组装工艺

给出了五种典型工艺场景,涉及CUF(毛细管底部填充)工艺、T. C. Bond热压(键)合、

绝缘膏(NCP,图c)、绝缘薄膜(NCF,图d),结合下图(a-d)很好理解,都是经凸点实现电气相连,再通过绝缘胶质实现芯片间或芯片与载板之间的物理相连;区别是连结条件有所不同:凸点类型区别、涂胶方法区别、实现键合的材料不同。

无凸点键合(图e)抽象些,直接看图。

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实现电气互连的不同封装场景

2.3 混合键合工艺

混合键合同时包含了电介质键合与金属键合,是一种低温的直接键合互连技术(DBI),可在室温下进行,并在150-300℃下退火,由美国三角研究中心发明,最开始是申请了同质键合的ZiBond发明,并在2004-2005年进一步发展为金属&电介质的低温条件的直接键合互连技术。2015年其孵化公司被Tessera收购,而后者之前已经和索尼结束撕逼、重启合作,索尼在CMOS图像传感器(以下简称CIS)领域将DBI发扬光大。

下图给出了混合键合的典型工艺步骤,图中是双芯片bumpless无凸点键合的示意图,通过CMP化学机械抛光和等离子激活得到两个平整光滑的活化表面,对准各自的线路点,通过经活化后的介质表面通过化学键作用完成贴合,并在后续退火处理阶段,金属线路部分因膨胀系数差填满缝隙,键合完成。

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简易键合流程示意

2.4 索尼CIS大法好

大法是首个将低温无凸点铜-铜DBI实现大规模量产的厂商,例如2016年上市的Galaxy S7所使用的型号IMX260的背照式CIS。电学测试结果表明,它们具有良好的连通性和可靠性。图像传感器的性能也非常出色。IMX260 BI-CIS的顶部和横截面视图如下图所示。可以看出,与堆栈式CIS不同的是,IMX260通过铜键合实现CIS晶圆与ISP晶圆之间的互连,而并非TSV。

一般而言,晶圆对晶圆的键合是两片尺寸一致的晶圆,而IMX260中的ISP晶圆略大于CIS像素晶圆,为了进行晶圆与晶圆的键合,必须浪费部分像素晶圆的区域,但它可以用于线键合焊盘。Cu - Cu - DBI的组装过程首先是晶圆片的表面清洗、金属氧化物去除和SiO2的活化(通过湿法清洗和干法等离子体活化)。

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