气压传感器
气压传感器是检测大气压力的传感器。
根据要测量的压力值,压力传感器具有如下所示的各种材料和方法的传感器。
在这些压力传感器中,检测大气压力(用于气压检测)的传感器通常被称为气压传感器。
[使用的材料 - 按方式分类的压力传感器]
气压传感器的典型示例是使用硅(Si)半导体的压阻式。
罗姆提供的气压传感器也是压阻式气压传感器。
压阻式气压传感器
压阻式气压传感器使用Si单晶板作为隔膜(压力接收元件),通过在其表面上扩散杂质形成电阻桥电路,将施加压力时产生的变形作为电阻值变化,来计算压力(气压)。
[压阻式气压传感器]
电阻率(电导率)因施加在该电阻上的压力而变化的现象称为压阻效应。罗姆的气压传感器IC将使用压阻式压力接收元件(隔膜结构和压阻集成在一起※MEMS),以及温度校正处理、控制电路等的集成电路(※ASIC)集成在一个封装里,可以轻松获得高精度的气压信息。
※ MEMS:Micro Electro Mechanical System(微机电系统)
在一个电路板上集成机械构成部件、传感器、执行机构(驱动部件)等的装置。
※ ASIC:ApplICation Specific Integrated Circuit(专用集成电路)
它是一种集成电路,将多个电路功能组合成一个特定应用。
加速度传感器
加速度是指单位时间内产生的速度,测量加速度的IC就叫加速度传感器。
通过测量加速度,可以测得物体的倾斜、振动等信息。
加速度单位为m/s2(※国际单位制SI)。
另外,单位G是以※标准重力(1 G = 9.806 65m/s2)为基准的加速度值。
还有用于检测地震震动的加速度的单位※Gal(CGS单位制)。
※ 国际单位制SI(法语:Système international d'unités)
由长度m、重量kg、时间s (MKS单位)组合而成的国际单位。
※ 标准重力
物体在重力作用下产生的加速度。物体在自由落体时,物体每单位时间内增加的速度值(9.806 65m/s2)。
※ Gal
CGS(长度cm、重量g、时间s为基准)单位制的加速度单位。被定义为SI单位制的1/100(1Gal=0.01 m/s2 )。
加速度传感器一般分为低G加速度传感器和高G加速度传感器,如下图所示。
电容式加速度传感器
罗姆集团加速度传感器是采用MEMS技术的电容式加速度传感器。
传感器元件由Si制成的固定电极、可动电极和弹簧构成。未施加加速度的状态下,固定电极和可动电极间的距离相同。施加加速度,则可动电极移位。由此与固定电极的位置关系发生变化,电极间容量发生变化。容量的变化通过※ASIC转化为电压,算出加速度。