b、背散射电子像特点
背散射电子像在电镜成像中的使用率和图像分辨率也都比较高,仅次于二次电子像。图9为BSE和SE的发射系数与原子序数的关系,背散射电子的产额基本上随原子序数的增高而增加,所以背散射电子像不仅能分析试样的形貌特征,而且还可以用于显示试样化学组分的特征,在一定范围内能对试样表面的化学组成进行粗略地定性分析。
图10通过对比同一样品区域的二次电子像和背散射电子像,可以发现二次电子像主要反映样品的形貌特征,而背散射电子像在反映样品形貌特征的同时,还能提供有关样品化学组成的信息。根据背散射电子和原子序数的关系,亮度较高的区域通常由原子序数较大的组分构成,而亮度较低的区域则由原子序数较小的组分构成。因此,如果我们需要进行下一步的能谱分析,可以有目标地选择明暗区域进行进一步的分析。
5、扫描电镜的主要应用
扫描电镜是一种多功能的仪器,具有很多优越的性能,可以进行如下基本分析: