你有没有听说过光刻机这个东西？听起来很高大上对吧？其实它可是制造芯片的关键设备，可以说是科技界的＂国之重器＂。
你知道光刻机有多么稀缺和昂贵吗？全世界目前只有三家公司掌握了制造极紫外光刻机的核心技术，它们分别是荷兰的ASML公司、日本的尼康和佳能。想象一下，地球上只有这三家公司能生产出这种芯片＂心脏＂设备，是不是感觉很不可思议？就好像全世界只有三个国家拥有制造原子弹的能力一样罕见！
别以为我在夸张，事实上一台高端的EUV光刻机的价格高达1.5亿美元，制造周期还长达一年半呢！你能想象用1.5亿元在上海买多少套房吗？为什么光刻机会这么稀缺和昂贵呢？主要原因就在于它的制造工艺实在是太过复杂了。
我们从它的工作原理就能窥见一二。光刻机的主要功能是将芯片的微缩图形精准地印刷到硅片上。可是，当芯片的线宽越来越小时，用可见光就无法很好地完成这个任务了。你知道为什么吗？因为可见光的波长太长，会影响成像的精度。
为了解决这个问题，科学家们发明了极紫外光刻机，它使用的是波长更短的极紫外线。极紫外线波长只有13.5纳米，比可见光短了几百倍，因此能够将更小的图形精准印刷到芯片上。
不过，要制造出使用极紫外线的光刻机可不是一件容易的事。极紫外线在空气中会被吸收，所以整个曝光过程必须在真空环境中进行。极紫外线对普通透镜会造成损伤，因此需要使用特殊的反射镜来聚焦。
更大的挑战是，极紫外线的光源非常困难。目前，ASML使用的是一种叫做＂锡等离子体＂的光源，它通过激光轰击锡滴液体产生等离子体，从而发出极紫外线。可以想象，这个过程是多么精密和复杂。
除了光源，光刻机的其他部件也都需要达到极高的精度要求。比如，曝光系统中的反射镜表面的粗糙度不能超过0.1纳米，否则会影响成像质量。再比如，硅片的位置需要精确到几纳米的水平，才能保证图案对准。
