真空等离子清洗机的设备尺寸和占地面积会根据具体的型号、设计和应用需求而有所不同。一般来说，这些设备的尺寸可以从小型桌面式到大型工业级不等。
对于小型桌面式真空等离子清洗机，其外部尺寸可能只有几十厘米到一米左右，适用于科研、实验室等环境，方便放置于实验桌或手套箱内。
而大型工业级真空等离子清洗机则可能具有更大的尺寸，其外部尺寸可能达到数米，甚至更大。这些大型设备通常用于生产线上的大规模清洗作业，需要占用较大的生产空间。
此外，还需要考虑设备的占地面积，包括设备本身的尺寸以及设备周围所需的操作空间和维护空间。因此，在选择真空等离子清洗机时，需要根据具体的生产需求和场地条件来确定合适的设备尺寸和占地面积。
