真空式等离子清洗机是当前应用行业最广、应用工艺最多、效果极佳的一款等离子体表面处理设备，可实现表面的清洁、活化、刻蚀、涂层、改性等等功能，工艺可控性强。真空式等离子清洗机在选购过程中，产家可以根据需求对腔室体积、形状、腔内电极数量、电极间距、电极设计方式等等重要的结构进行调整，完全匹配应用需求，故而可以被广大的新型工艺所青睐。
尽管可以针对性的定制设备结构，但是真空式等离子清洗机在实际使用过程中，还是需要对几个固定的参数需要进行很好的调控，才能更加节约时间和金钱成本。下面我们就来简单说明下各个重要的参数。
寒武纪-真空式等离子清洗机
1.真空度
真空度是指真空腔室内的气压值，通过真空计来实时监测。这里真空度主要指在放电时腔室内所达到的气压值，不同的工艺和效果需求，放电时真空度的选取亦不相同，例如在常规的清洗工艺应用中，真空度设置在20-50Pa即可。调整真空度可以有效改变放电电离气体的效果，进而对表面处理的效果进行影响。
2.工艺气体种类和流量
真空式等离子清洗机因为其放电条件是在一个相对低的接近真空的气压状态下进行，这种状况下可被电离的空气极其稀薄，这时我们通入一些特定的气体，利用电场对其电离产生大量可与被处理产品表面发生反应的粒子基团，可以有效提升等离子表面处理的效果；也因为上述真空度特性，我们通入的气体量亦不能过大，所以在设备上一般都配置多路的气体通道，同时有气体质量流量计进行气体流量的管控，保证进气量的均匀稳定。特别的一点是，在我们通入多种气体时，气体之间的通入比例对表面处理效果影响也很大，所以这个需要根据经验或者现场测验抓取较好的气体混合比例。
3.等离子放电功率
在真空等离子清洗机选定后，一般会配置中频、射频或者微波的不同频率的高频电源，但一般一套设备的电源都是单一频率（个别特殊设备除外）的，所以使用过程中无法涉及频率的改变，但是相应的，不管什么频段的电源都可以调整电源输出功率来调整腔室内的电离情况，适合的功率，对于处理工序的效率和效果都有极大的提升。需要主要低功率不一定可以达到预期效果，但是过高的功率也不一定都是正向的提升。
4.等离子体处理时间
处理时间是一个十分关键的参数，这个与设备的处理效率直接相关。这个参数不是单一的特性，它需要与使用功率、工艺气体种类、流量等等相匹配适应后取定一个较好的数值。为了追求效率来说，通过多参数分别调控以降低处理时间的方式是一种比较好的办法。当然，不能统一认为时间越长效果越好，亦需知道凡事过犹不及！
上述四个参数是常规真空等离子清洗机的常备参数，当然也还有其他的效果影响因素如腔室内电极温度、破真空的气体类型、设备的部件用材等等，这里就不一一赘述，如需了解更多，可以联系我们，一起探讨学习。
苏州市寒武纪等离子技术有限公司通过多年对行业应用的深耕和等离子设备的自主研发，已开发拥有多品种多类型的等离子表面处理设备，包括有大气式常压喷枪等离子设备、大气式宽幅等离子设备、真空式水平电极等离子设备、真空式垂直电极等离子设备、ICP等离子设备、RIE等离子设备等等，欢迎联系我们一起探讨等离子应用技术和设备。
