为了尽快提高我国的光刻机技术，无数科研人员日夜奋战，现在虽然达到了一定的技术水平，但是想再进一步精进，还是需要从国外产的高端光刻机方面寻找灵感。只是受到美国等国家的封锁，我国始终没有办法得到国外产的高端光刻机。
就中国目前的情况来看，之所以一直没有办法精进，其实也是因为我国在光刻机零件上一直没有办法实现突破。现在我国光刻机上使用的零件，除了从国外定制，就只能手工制作，可想而知其技术难度。
从光刻机零件方面来看，其实制造最难的应该是镜头，其精度要求是相当高的，这也是因为芯片上的电路图都是印制出来的，如果没有精度足够的镜头极有可能在绘制电路图的时候出现偏差，导致芯片没有办法使用。然而就目前来看，我国尚且没有办法做出精度更好的镜头。
另外，还有一些零件是需要工程师们手工打磨的，这一部分零件的精度要求也特别高，需要很多工程师耗费大量的时间去打磨，据工程师说，其中有些零件实在是太精巧了，稍不留神就会损坏，有时候可能打磨十年才能够出现可以使用的光刻机零件。
