1定义
真空泵是根据一定的工作原理，用来产生、改善和维持真空环境的装置。
解释:
真空泵的工作原理：机械、物理、化学。
真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。
真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。
真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法或用途。
粗低真空
●食品行业
●化工行业
●冷冻干燥
●轻工行业
●制药行业
●导电(真空放电灯具)
高真空
●冶炼
●真空热处理、真空焊接
●集成电路、半导体制造
●各种镀膜工艺
●各种表面加工工艺
●化学研究
●离子注入
●隔离作用(绝热)
超高真空
●空间模拟
●材料科学分析
●物理现象研究
●表面分析
●高纯材料制备(如:MBE)
2 真空系统的基本组成1真空室
2高真空泵(主泵)
3预抽泵
3a前级泵
4高真空阀门
5低真空阀门
6前级管道
7放气阀
8低真空计
9高真空计
